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計畫緣起

離子植入製成環境長時間800℃高溫常導致UP Chamber鎢板底座變形，變形後造成內部反應氣體外洩，原廠設計之本體有一冷卻水路但和UP Chamber中間間格30mm高度以非接觸式冷卻，無法有效率帶走製程高溫約15個工作天需下機PM，新計畫之雙通道冷卻器在本體上方增加一長方形底座，並在底座內增加一循環水路。底座直接接觸UP Chamber下方給予直接冷卻，達到UP Chamber鎢底板不再因製成高溫變形問題。

計畫目標與創新重點

本計畫於本體上方增加的長方形底座(鋁合金)，由於接近鎢燈絲發熱源(800℃)，需確保長方形底座不被高溫所導致材質過熔，材質過熔時會導致UP Chamber鎢底板和長方形底座黏再一起需破壞取下，長方形底座內部冷卻水路計需考慮到冷卻效率，底座再製程環境中最高溫不能超過350℃為目標。經熱流模擬分析以1150℃製程溫度和冷卻水溫26℃較嚴苛環境去分析，長方形底座再製程環境中最高溫291℃。當鎢底板不再因高溫有變形問題，進而可提高機上工作天數，減少PM次數。

計畫執行心得

團隊針對製程環境因素提出改良改善計畫從水路設計、製程分拆、加工設計到組裝作業等，都從中學習到每個環節都會影響整體結果，充分的溝通和討論達到預期成果。