計畫名稱
耐高溫阻熱之電子束靶材暨鍍膜材料技術開發
主要營業項目
1.半導體設備、耗材買賣。
2.能源案場、專利及工程顧問服務。

計畫緣起
本計畫目標以(低碳與減碳為推動方向)建立國內完整自主的鍍膜關鍵技術及提升高功率電子束蒸鍍製程系統相關設備技術,強化產業自主性,並促進產業生根於台灣,熱障塗層(TBC)技術是發展高性能航空發動機、風力發電風機的關鍵技術,使用TBC能夠提高航空發動機的推重比及風力發電風機葉片的耐受性,降低渦輪葉片高溫合金的表面溫度,減小發動機中冷卻氣體用量,以熱障塗層技術的發展及目標是製備具有更高使用溫度,更大的隔熱效果,更長的使用壽命的塗層,TBC的結構對TBC的性能有著重要影響,通過改變TBC的結構來提高TBC性能是一條非常有效的途徑。
計畫目標與創新重點
計畫中採用自製稀土氧化物陶瓷材料鑄錠作為金屬靶材的替代品,用高功率電子束蒸鍍(EB-PVD),以製備具有特殊柱晶狀結構的熱障塗層(TBC)。相較於傳統金屬靶材,自製靶材能夠在操作溫度上提供更高的耐受度;此外,透過調整基材、時間和真空等製程參數,能夠與靶材相匹配,進一步降低成本,後續透過建立實驗性鍍膜平台,自製靶材料也有潛力在其他鍍膜領域的應用中取代進口材料,同時推動相關製程技術和材料的發展。
計畫執行心得
因本公司主要重點為研發,未包含後段生產製造,在前期開發過程中,除了有些材料實驗設計需花時間解題與做實驗外,並無太大困難,惟此產品屬於新穎材料設計導入,現有人力較為吃緊,未來應擴充研發量能,以因應新式材料產品開發。

