赫發科技股份有限公司

計畫名稱
半導體節能低維護成本氣轉固態雷射解決整機方案研發計畫


主要營業項目
電子零組件製造業

計畫緣起

有感台灣半導體是國家重要的戰略產業,加上在業界累積的豐富經驗,在創業過程中,一直希望能將產業需要的雷射、光學調校的解決能力留於台灣,為產業創造更大的經濟效益。
近年來隨著需求與製程不斷的進步,在半導體晶片加工方面,對雷射技術的需求日益增加且占有不可或缺的地位;近幾年,節能就是客戶反饋最大需求! 然而技術開發與研究需要投入許多行政成本與專業人力,而現有公司人力需同時負責客戶服務、技術開發,顯得較為吃緊,因此選擇投入地方SBIR 計畫,以尋求經費支援,結合對半導體產業的了解及敏銳度,著眼於半導體設備所需的雷射進行測試研究,期許能為客戶與半導體產業帶來更多商業價值。

計畫重點

由光纖傳輸的高效能固態雷射零組件,取代傳統氣態雷射耗材,結合光學調校整合技術,將市售雷射光束輸出偏差量降低至±0.5%,提升雷射模組的使用效能,搭配更換模組校正機台,大大提升了雷射輸出的穩定度,同時也降低科技大廠在設備升級時投入的成本,並延長了雷射模組耗材的使用壽命;另一方面,更邀請工研院進行整機雷射耗能測試,確認除了效能上的提升,更降低了原有的電能消耗,節省約60% 的電力,對環境更友善,甚至可將雷射耗材之生命週期延長三倍以上( 市售產品約半年需更換雷射模組,可延長至3 年才需更換),對於半導體廠而言無須額外添購新型設備,即可達到雷射效能的升級,大幅提升半導體雷射製程上的經濟與節能環保效益,並降低導入門檻。

計畫創新

1、雷射模組使用效能提升。
2、耗材壽命延長。
3、節省電能耗損。

計畫執行心得

赫發科技目前已在美國設立分公司,目前在新加坡也有關係企業,未來將擴大國際合作的機會,將產品價值延伸至國際,深化半導體設備專業技術服務並整合全球上下游供應鏈資源,提供客戶完整的設備供應、技術服務等多角化經營。
透過委員建議委由第三方檢驗雷射耗能以確立數據的可信度,因此團隊尋求工研院協助,經由專業的量測設備與方法,獲得公正客觀的檢驗數據。

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