💡計畫名稱
晶圓量測探針台節能低運維成本溫控系統開發計畫
🏢主要營業項目
晶圓量測探針台、功率元件動態量測系統、代客量測、晶圓量測測試機
🌱計畫緣起
目前國際上晶圓探針台市場多由美、日主導，能夠獨立提供溫度控制搭配探針台系統的更是少數。國內亦缺乏具備全自主核心技術以及溫控系統整合能力的晶圓級探針台供應商。
目前國內市場痛點：購置成本高昂、維修成本與時效性差、技術依賴性強。有鑑於此，史杰威科技決定投入研發晶圓探針台專用配套之溫控系統，希望透過自行研發的溫控系統配套探針台整合設計，掌握好探針台關鍵功能產品的技術關鍵，更好的提供國內外客戶更優質合理的選擇，也希望透過此計畫打破國外廠家技術壟斷，提供國內客戶高性價比的
溫控系統選擇，並強化台灣半導體供應鏈的自主韌性。
✨計畫目標與創新重點
傳統晶圓探針台多為手動控制並且於室溫(25ºC) 下進行量測， 後來有了半自動量測乃至全自動上下片的探針台量測裝置。史杰威科技跟隨著台灣晶片產業的發展，深耕晶圓探針台研發及銷售多年，發現市場對於探針台溫控系統的需求越來越多，但是產品多只有國外廠家選擇，售價高昂且售後服務不佳。
為解決市場痛點，本研發計畫，設定執行目標如下：
- 完成可用於搭配多種尺寸晶圓量測探針台的溫控系統設計。用戶可透過探針台控制軟體或制冷機控制面板，進行量測環境溫度調節，可調範圍-40ºC 至200ºC。
- 完成乾式雙級復疊式閉迴路制冷機設計及硬體組裝，達成節能、低運維成本制冷。
- 晶圓探針台及溫控系統整合設計，實現探針台低漏電高低溫量測。
💬計畫執行心得
感謝新竹縣政府地方產業創新研發推動計畫提供研發補助資源，協助本公司投入關鍵技術研發與產品創新。本公司將持續深化相關技術研發成果，推動產品商品化與市場應用，為新竹縣及臺灣半導體設備產業發展貢獻一份心力。
新竹縣地方型SBIR 